您還在為半導體晶圓制造
良率瓶頸焦慮不已？
良率波動不止？根源可能在“氣”！
昂貴工藝氣體泄漏難防？
腐蝕氣體濃度失控困擾？
微漏難尋，良率成本雙失？
海瑞思RGA密封檢測方案
直擊痛點——
? 實時捕捉波動，保障濃度穩定
? 精準快速響應，穩定蝕刻工藝
? 變被動為主動預警，守護良率與成本
告別泄漏隱患，穩控工藝命脈！
歡迎蒞臨SEMI-e深圳半導體展
14號館K11展位
解鎖您的專屬密封解決方案！
現場更有專業工程師為您答疑解惑，
期待與您相約！
以下是觀展攻略，請速速收藏！
01
觀展時間
參展人員 | 日期 | 時間 |
觀眾 | 9月10-11日 | 9：00-16：30 |
觀眾 | 9月12日 | 9：00-16：00 |
交通指引
02
地鐵：地鐵12號線、20號線直達國展北站（C1、C2出口到達北登錄大廳），可快速往返深圳市區及機場。
公交：深圳國際會展中心1站: 615路、B892路環線；深圳國際會展中心2站: M515路、B892路環線
自駕：A線路由國展立交-鳳塘大道-展城路-P1；B線路由國展立交-鳳塘大道-濱江大道-P5
03
展位路線圖
04展期天氣
溫馨提示：
1. 展會期間可能會有小雨，注意攜帶雨具。
2. 雨天濕度較大，注意保暖，避免受涼。
05
明星產品
HM-100 殘余氣體分析儀↑
高分辨率：<1amu
高靈敏度：最小可檢分壓3*10-14 Torr
寬質量數范圍：1-100amu,可識別H2、He、H2O、N2、O2、CO2等關鍵氣體
HM-200在線質譜分析儀↑
采用 RGA 技術直接檢測電解液泄漏，無需檢測氣體,靈敏度高,成本更低; 自帶觸摸顯示屏，操控精準。
HM-400氦質譜檢漏儀↑
最小可檢漏率 5*10-13Pa·m3/s; 正壓負壓皆可檢，全面覆蓋需求; 推車式結構輕便高效，適用各類生產環境; 模塊化緊湊設計，易于系統集成，適用于各種自動化裝配線。
HV-100 VOCs檢測儀↑
檢測精度1ppb，秒級響應；支持多種測試氣體和應用場景；小巧便捷，輕松操作；自動儲存，支持數據溯源。
您的困惑，我們都懂
歡迎蒞臨海瑞思展位
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